纳米以下若干关键技术。 “十二五”期间,也就是2011-2015年,重点实施的内容和目标包括:重点进行45-22纳米关键制造装备攻关,开发32-22纳米os工艺、90-65纳米特色工艺,开展22-14纳米前瞻性研究,形成65-45纳米装备、材料、工艺配套能力及集成电路制造产业链,进一步缩小与世界先进水平差距,装备和材料占国内市场的份额分别达到10和20,开拓国际市场。 可以说这