个规划是非常好的。 奈何国内和国际的差距太大,所以很多时候也是有心无力。 如果不是有南山设备的话,这些目标显然都是实现不了的。 今年就是2010年,算是02专项第一阶段目标的收官之年。 但是别说45纳米的关键技术了,就是65纳米的制造装备样机,也是搞不定的。 顶多就是90纳米制造装备产品有了一定的成绩,但是距离市场份额达到10还是有很大的差距。