专项就是围绕着半导体产业而去。 其中01专项的目标是到2020年,我国在高端通用芯片、基础软件和核心电子器件领域基本形成具有国际竞争力的高新技术研发与创新体系,并在全球电子信息技术与产业发展中发挥重要作用。 02专项的目标在“十一五”期间,也就是2006-2010年,重点实现90纳米制造装备产品化,若干关键技术和零部件国产化。 研究开发出65纳米制造装备样机,突破45