在系统商店普通货架上默念搜索「电子束光刻机」，很快，搜索出几款相关技术。

沐阳选择适合自己公司的一款技术：EBL01

技术参数：

1．最小线宽：小于1nbr/>

2．加速电压：5—500kV

3．电子束直径：小于05nbr/>

4．套刻精度：1nan＋020）

5．拼接精度：1nan＋020）

6．加工晶圆尺寸：4—1