8英寸

7．描电镜分辨率：小于02nbr/>

主要特点：

1．采用超高亮度和超高稳定性的TFE电子枪；

2．出色的电子束偏转控制技术；

3．采用场尺寸调制技术，电子束定位分辨率可达00002n

4．采用轴对称图形书写技术，图形偏角分辨率可达0002ad；

5．应用领域广泛，如

微纳器件加工，研究用掩膜制造，纳米加工（例