所以,他只能另辟蹊径。
很久之前,沐阳就想到过电子束光刻机。
原本,再过几年,漂亮国的一个实验室研发出一套名为ZyvexLitho1的光刻系统,基于STM扫描隧道显微镜,使用的是EBL(E-Beaithography)电子束光刻方式,制造出了07n宽的芯片,只是没法实现批量生产,或者成本高过。
沐阳相信,如果是技术成熟的电子束光刻机,线宽比07n小。
他
第438章 光刻机项目:另辟蹊径(5 / 28)
所以,他只能另辟蹊径。
很久之前,沐阳就想到过电子束光刻机。
原本,再过几年,漂亮国的一个实验室研发出一套名为ZyvexLitho1的光刻系统,基于STM扫描隧道显微镜,使用的是EBL(E-Beaithography)电子束光刻方式,制造出了07n宽的芯片,只是没法实现批量生产,或者成本高过。
沐阳相信,如果是技术成熟的电子束光刻机,线宽比07n小。
他