究成果，但这种波长只有135纳米的光源真正用到光刻机上还有一个漫长的过程。

业内人士坚持认为，在光刻技术“摩尔定律”上，157纳米的光源、“干式”光刻技术，就是唯一的赛道。

而林古峰不这么认为，特别是在安美森和阿斯麦联合收购了svg后，林谷峰亲自跟进了光源项目研究小组的进度，更加感到157纳米波长的光，不适用于光刻领域。

林谷峰跟陈立东解释说：“因为空气中的氧气会吸收