第四百零一章 家有四老(3 / 20)

速度越快、能耗表现越好。

1992年,芯片制程的工艺节点达到了500纳米,1995年350纳米,1997年200纳米,1999年140纳米,2001年实现了65纳米。

此时全球光刻机巨头尼康、佳能、阿斯麦以及已经被阿斯麦和安美森收购的svg,都在执着于用157纳米波长的光源,在“干式”光刻技术上寻求突破。

阿斯麦和svg加入的euvllc联盟,对极紫外光源有了一定的研