157纳米的光,所以光经过的整个路径必须只有惰性气体,现在只能用氮气。 氮气的成本很高,而且如果意外漏出太多氮气会致命的。 我算了一下,157纳米只比193纳米短23%,换句话说,只能把解析度提高23%。 用193纳米加水可以提高46%,几乎是两倍,因为波长只在水中变短为132纳米。 光在进入水前的波长是193纳米,可以避开所有157纳米的困难,能改进46%