刻机屏幕之前,喊来总工程师,如此说道。 “无限套刻测试一直在循环进行,目前,极端线宽已经做到了22nm……” 于东听到22nm的时候,内心还一笑,这也不高嘛。 但是随即反应过来,当即惊呼道:“多少?” 这他么是220nm的光刻机啊,搞我玩儿呢吧,而且这玩意儿用的是i线365nm的光源啊!