第132章 十倍精度光刻(9 / 18)

刻机屏幕之前,喊来总工程师,如此说道。

“无限套刻测试一直在循环进行,目前,极端线宽已经做到了22nm……”

于东听到22nm的时候,内心还一笑,这也不高嘛。

但是随即反应过来,当即惊呼道:“多少?”

这他么是220nm的光刻机啊,搞我玩儿呢吧,而且这玩意儿用的是i线365nm的光源啊!