华为利用SAQP技术实现4倍精度的光刻，这其中有多困难，只有做过才知道。

而且良率从几乎没法看到现在的渐渐提高，也经历了非常漫长的时间——说白了，这玩意是实在没办法了才去搞的。

如果国内有EUV，何至于费这么大的劲！

“10倍精度！22nm！”杨工程师确认道。

“你们用的什么方法？”于东没有怀疑杨工骗他，这东西