目越推进问题越多，下一代光刻机的研发难度也在一次次刷新我们的认知。

据我们了解，包括蔡司，Cymer在内的一批全球顶尖企业同样都遇到了困难，蔡司已经放弃了连续三年的研发方向准备做调整，下一代光刻机的研发注定是一场恶战。

没有改变的是下一代光刻机的核心技术依然是光源，镜头以及精密仪器，只不过这一次我们需要的是全球顶级的相关技术。”

路院长把一份文件放在了孟谦