来到沪上微电科的办公室,已经有十几个人等在那边了,他们分别来自华科院光电所,华科院电工所以及长光所,而今天这支院士队伍,是由华科院院长亲自带队的。 “孟总,关于下一代光刻机研发的评估工作已经结束了。” “辛苦大家了,不知道结论如何?” “孟总说的没错,下一代光刻机的研发价值和研发难度,都不亚于航母。” 孟谦不自主的点头,“整个光刻机项