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而且绝大部分企业和机构都是多个方向一起研发，尤其是IBM，四个方向一起研发。

当时搞157nm F2激光搞得最好的就是SVG跟尼康，而当时搞EUV搞的最好，也是投入最大的企业，正是英特尔，这也是为什么最近英特尔跳出来高喊要靠EUV打造下一代光刻机。

在这个年代，英特尔率领的联盟就是EUV第一梯队，而第二梯队是哪呢，从投入来说，第二梯队看似是欧