晶圆厂,每年光电费就要上千万...”孟谦下意识的接了一句。 “目前市面上设备的优劣可以带来的用电差距,高达两倍。”何文康往右边走了几步,“从能量控制器出来的能量会进入光束形状设置装置,不同的光束会带来不同的光学效果。 再过去就是能量探测器了,刚才我也说了,能量的误差会直接影响到良品率,所以这里算是对能量的二次确认,能量探测器下面那个东西叫掩模版,这东西本质上就是一个刻着