均值还不到千分之一。

所以如何保证一个长时间内持续稳定的高功率输出，这是光源输入的第一个稳，第二个稳在于，如何提升能量稳定以提升良品率，要知道，最终的能量一旦出现一点极小的误差，都会影响到良品率，最后一个稳，也是最基本的稳，如何通过设备稳定来降低用电量。

一个表现优异的激光器和能量转换器，它会影响企业的电力成本以及产品的良品率。”

“一个拥有三四台光刻机的