米浸润式微影,彻底改变了这个行业。 林本坚提出的技术让光刻机,让整个芯片产业进入了一个新的时代,然而在当时,不管是霓虹国的尼康佳能,还是米国的GCA都将这个技术拒之门外,甚至有一种说法,他们威胁过林本坚不要再推广这个技术了。 因为他们在干法上的投入太大了,像尼康投入了上百亿,现在让他换个技术再投入的话,之前投入的钱不都白花了,但他们又不能证明林本坚是错的,所以他们希望他