这个时候的阿斯麦已经有了生产主流高端光刻机的能力，但并不比尼康优秀，自然比不过尼康提前二十来年积累的资源，所以这个时候的阿麦斯在整个光刻机的市场占有率只有10%，老大依旧是尼康。

不过在几个月后，阿麦斯就会正式推出双工作台系统，这是他们设计的一个非常有影响力的技术，但真正让阿麦斯逆袭尼康的，关键还是2002年。

2002年，2000年进入台积电的华人林本坚提出的193纳