光源系统设备验收阶段圆满完成,接下来就是高阶光刻机的组装。

除了光源系统、双工作台系统和光学系统，余下零件所需还有更精确的镜头组、反射镜，以及ArF光刻胶等,国内暂时还没有研发出来。

但这都不是问题。

因为最艰难的光源系统和双工作台系统已经被圆满攻破,剩下的ArF光刻胶等技术要求很高，可相对来说,难度系数不是特别大。

林成建也很兴奋,他勉强保持冷静，