，同时还有电路的设计等等。

之后还有就是光刻机其他的简单零部件的分组了，比如他们的光刻机以后要用到的铅板保护层，还有外壳，还有其他东西等等。

总而言之，这些分组是最重要的，承担着各种光刻机零部件的生产和设计工作，当然，他们也需要协调那些供应商，将他们的方案设计出来，然后交给那些有资质的供应商来生产相关的零部件。

而除了这些分组外，就还有其他部门，比如经费调拨之类的，虽