任关键职位的人。

有他这位总设计师，还有一位副总设计师，此外就是其他研究分组的组长。

这些组是按照光刻机各部分结构进行分组，比如光路系统，由光电所所长罗刚宪负责，光路系统主要负责光光源及其传递的架构，以及对透镜的生产和制造，像林晓现在正在研制的那种硅透镜。

然后就是光刻机的机械结构部分，如双工作台也是由这个组来负责，此外还有光刻机内部的传动结构，比如控制硅晶圆的机械臂