开发，国产化率超过90。

张保东参与开发的则是硅片研磨。

研磨设备就是一台大型卧式圆台磨床，可以放多张硅晶片。

抛光设备，则是化学机械抛光机，化学机械抛光，简称p。

p的机械结构并不复杂，大致由循环泵、抛光液池、过滤磁环、抛光机、工件台、抛光垫、抛光盘、回收箱等十几个部件组成。

体现它的性能的是设备的稳定性，高精度和平整度，以确保加工出来的硅片呈现