么好,竟然是顶级光刻机制造技术!”刘一辰都有些难以置信。 光刻机,又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等。 它是生产大规模集成电路的核心设备,制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,世界上只有asl、尼康、佳能、欧泰克、魔都微电子装备、suss、ab等极其少数厂家掌握。 因此,光刻机价格昂贵,通常在3000万~5亿美元之间。 而高端光刻机,更是号称世界上最