后就是工厂的快镜头行云流马画面—— 组装、调试、试生产,几十个日日夜夜…… 纪弘暂停了画面,他说道:“没错,你们看到的,就是这款光刻机。他来自科学院光机所。 “这就是那款22nm超分辨率光刻机,在设计之初,就可以满足22nm,套刻能够实现11nm芯片的生产。 “但众所周知,由于自身所限,只能做周期的线、点、光栅