第132章 十倍精度光刻(2 / 18)

货了。

哪怕是1980di,现在要买也只有理论上的可能。现有的都是存量,都是有数的——华为的先进工艺,就是用这款光刻机采用多重曝光工艺生产的。

等效5nm,算是把这台光刻机压榨到了极限。

而国内生产已经投入商用的光刻机,是分辨率90nm的沪上微电子的SSA600/20。

回到家里,纪弘在书房,也是一样一样的在整