之后之后...

“2001年9月19日

提升光刻机分辨率的方法有三个，缩短波长，增加数值孔径，减小K1因子。前段时间，江大带来的浸没式光刻机概念，可以大大提升折射率，从而增加数值孔径。

为了更好的配合全新的浸没式光刻机概念，我们与长光所合作，在激光器上实现了巨大突破。

我们研发了一种高功率193nm准分子激光器，使用氟气、氩气以及氦气混合气体