证明浸没式光刻机的发展方向是正确的。

之前纪凯论证了浸没式光刻机的可行性，但更多是属于理论上的结论。

这就好比林本坚带着理论找到尼康的时候人家并不搭理他，理论终究是理论，还是需要上升到实际运用的。

所以这次实验的目的一是进一步证明了方向正确后，可以给大家更大的信心，浸没式光刻机可以突破现在整个光刻机行业的瓶颈，搞定米国人和霓虹人搞不定的事情，如果这个东西真