以放在一起看,58年我们拥有第一块硅单晶,比霓虹国还早两年,65年我们有了第一块集成电路,而我们的第一台接触式光刻机GK-3光刻机,是在77年生产出来的。 GK-3之后就是GK-4,但都属于接触式光刻机,一直到81年,我们有了JK-1型半自动接近式光刻机,1982年科学院109厂又研制出了KHA-75-1光刻机,之后就是85年,我们45所的分步光刻机,这也是华夏第一台分步投影式光刻机