5纳米制程的芯片了。”张和平略微摇头说道：“157纳米、134纳米的光刻机还要继续研制！”

“我已经提供了思路给他们，不能老想着从我这里要技术。”

“193纳米光刻机，能做5纳米的芯片？”王素梅的脑袋，一下子有些转不过弯了，“那还研究157纳米、134纳米的光刻机干什么？”

“这就是我提交的那份193纳米光刻机资料，为什么是绝密的原