f光刻作为芯片制造流程中最关键的环节，其基本原理其实很简单，就是用光，来完成对硅片的雕刻。

光刻中的硅片，就像是挂在墙上的投影布，而光刻机则是投影仪，

如果投影布表面不平整，出现起伏，那投影的画面自然就会扭曲变形。

在光刻中，硅片的表面瑕疵，则会导致投影上去的电路设计路变形，从而导致良率降低，甚至整张晶圆报废。

所以想要得到一张能用来制造芯片的硅片，