硅片和塑料镜头相比，制造难度上升了可不止一个等级。

不止是设备本身复杂、庞大，对设备本身的材料要求也更高，

比如单晶炉的炉体和炉管，使用的是一种高纯度的SiO2，能够承受高温下的化学反应和热应力。

炉底和炉盖这些会与硅材料接触的部分，则由陶瓷材料构成，由高纯度的Al2O3和Si3N4等耐高温材料制成，热传导和耐腐蚀性能强。

最关键的部位是加热棒。