源、曝光、检测、和其他高精密机械组成。

对比之下，蚀刻机的结构组成就要简单很多，主要是等离子体射频源、反应腔室和真空气路等组成。

哪怕如此，中微半导体能够把蚀刻机彻底搞定，对于华夏芯片设备产业来说，意义也是非同寻常的。

“曹总，之前阿斯麦威胁说谁敢使用南山设备的光刻机，就会进行相应的惩罚，甚至过去购买的光刻机都不会再进行售后服务。”