1步进式光刻机，其性能指标接近美国ca公司七年前开发的4800dsw系统的水平。

如今是1985，七年前，就是1978年。

z80芯片发明于1976年。

这么一算，b-101步进式光刻机已经是相当先进了，生产z80这类芯片，绰绰有余。

不过，b-101步进式光刻机依然有一些毛病需要改进，从而提高实际生产过程中的产品良品率。

中科院微电子研究所虽然把