0dsw系统的水平，中科院上海光学精密机械研究所研制的扫描式投影光刻机通过鉴定。武汉无线电元件三厂已经在光刻机项目上有了20多年的技术积累。

以上都是在实验室研制成功的，但事实生产过程中，难以保证良品率……”

“另外，半导体产业链很多的相关研究，都因为资金短缺，而停止了。过上两年，这些研究成果基本上就荒废或过时了。而且人才也开始大量流失，难以找回。所以，我们必须尽早行动！”