媒体总是喜欢给枯燥无味的技术突破通过各种具有象征性意义的关键节点进行概括，浸没法就是后世芯片技术发展中经常被提起的关键节点。

在此之前还属于业内追赶者地位的ASML借助浸没式光刻机成功实现了技术上的反超，并且反超之后再也没有被其他厂商超越过。

回到2003年的时间节点，没有被林本坚极力坚持下，ASML没有考虑浸没式的路线，而是继续坚持之前的干式光刻机的研发。