“蓝河科技与申市微电子科技达成战略合作,共同组装135nEUV,已完成仿真建模的初步阶段。同时水木大学的朱教授传来双工作台系统核心技术被攻破、南大光电研发的ArF光刻胶进度飞速,申市和春城光机所一直承接国家02专项光学系统……” “蓝河科技有信心于今年年底完成135n极紫外光刻机的工程验收。”盛明安顿了顿,环顾演讲厅一圈,询问:“有要提问的吗?” ―― 全场安