蓝河科技最基础的部署战略已走出第一步,一条攻破高阶国产光刻机技术的科技链已有了雏形,接下来的技术攻破才是重中之重的难点。 盛明安和沈问冰谈完具体的细节以及一些ArF光刻胶技术难点的看法后,离开甬城,回到津市,而沈问冰就ArF光刻胶及配套材料研发项目收集资料,准备申请立项,估计通过几率很高。 高端光刻胶及配套材料的研发和产业化本来就在国家02专项项目里,按前世轨迹,ArF