波长。

根据他之前的计算，能够更好地发挥衍射作用，光的波长不能太小了，不然的话，波长太小的光，穿透性能也更强，想要控制其衍射，就更难了。

所以，光的波长应当为356n。

而这是利用衍射效应，所以不能像euv光那样垂直照射，而是需要一个角度，也正是需要利用控制光的入射角度，来控制光的放大和缩小。

“唔，那就从30度入射角开始吧。”

输入了几个数据后，