就是功率足够强,不然的话,华国也不可能在光源上实现不了突破,毕竟方法都知道,不可能造都造不出来。
而x光刻机就不同了,因为是直写式,不需要经过镜片折射,所以根本不用担心光源功率不足的问题,反倒要担心的是曝光时间稍微长了一点,反倒会影响到最终的效果。
当然,x光优点很多,但同样也有缺点。
那就是相比较euv光刻机来说,光刻效率比较低,在实现大规模生产上比较困难,这也是为
第二百四十章 八月:产量提高2.6倍(5 / 33)
就是功率足够强,不然的话,华国也不可能在光源上实现不了突破,毕竟方法都知道,不可能造都造不出来。
而x光刻机就不同了,因为是直写式,不需要经过镜片折射,所以根本不用担心光源功率不足的问题,反倒要担心的是曝光时间稍微长了一点,反倒会影响到最终的效果。
当然,x光优点很多,但同样也有缺点。
那就是相比较euv光刻机来说,光刻效率比较低,在实现大规模生产上比较困难,这也是为