，一个工作台对硅晶圆进行扫描，一个工作台进行光刻。

华国在双工作台技术上已经实现了一次重要的突破，利用磁悬浮微动技术，实现了运动精度优于2n的精密程度，提高了双工作台的分辨率，被认为是世界上除了阿斯麦尔第二个掌握了光刻机双工作台技术的国家。

只不过，这项技术在实际运用上还有较多的问题，这个突破的双工作台，并不能直接用于euv光刻机上。

当然，相比较存在问题，至少现在是