纳米光刻机的工作原理也跟从前的光刻机有很大的区别,&bsp&bsp几乎是全新的挑战。

虽然有上海电子的专家来指点，但实验室里实现单个晶圆光刻和工厂的批量生产不是一个概念，前者是能做到就可以，后者不仅要做到，还要做好，要求是完全不一样的。

为了攻克它的工艺，芯片厂安排了二百多名工程师分成三班倒，轮番上阵,&bsp&bsp一点点摸索、尝试,&bsp&bsp才终于完成了这个艰巨的任务