看完硅棒,沐阳给大佬讲解一下eb光刻机研况「我们抛弃了euv光刻机的路线,就是绕不过对方的专利保护。
实际上,我们研发eb光刻机已经有两三年时间了,最近才有大突破,开始制造样机,我还是比较有信心把样机做出来。
目前,已经完成50%的零部件生产,有些买不到的零部件,目前在自主研发,这个光刻机零部件太多了,非常难搞。」
「是的,我对这个euv光刻机也有所了解,就算拿了
第451章 领导真的震惊了(14 / 18)
看完硅棒,沐阳给大佬讲解一下eb光刻机研况「我们抛弃了euv光刻机的路线,就是绕不过对方的专利保护。
实际上,我们研发eb光刻机已经有两三年时间了,最近才有大突破,开始制造样机,我还是比较有信心把样机做出来。
目前,已经完成50%的零部件生产,有些买不到的零部件,目前在自主研发,这个光刻机零部件太多了,非常难搞。」
「是的,我对这个euv光刻机也有所了解,就算拿了