第657章 光刻机(2 / 13)

去,为什么呢?就是因为光刻机的光源波长在13纳米上再也降不下来, 光源技术遇到了瓶颈。

雕刻的东西越精密,刀尖就必须越细越锋利,怎样才能将13纳米的光波磨细呢?

正当业界一筹莫展时,一位叫林本坚的华人工程师却另辟蹊径,提出了一个脑洞大开的方案。

他想到的办法,就是在镜头和硅片之间加一层水。让光经过水的折射,降为132n,这样投射到硅片的图案分辨率更清晰,晶片密度可以