佳能公司和尼康公司利用光源采用氟气准分子激光，发出波长157n附近的真空紫外光，看见了突破193纳米瓶颈的希望，正尝试研发出原型机。

因此，佳能公司不再需要跟苏业豪合作，态度日渐消极，把人手抽调去搞157纳米的光刻机。

而彻底打造属于自己的EUV光刻机不太现实，缺少庞大的顶级科研团队和成熟的供应链，哪怕钱再多也是白搭。

即使真的研发出新技术，如何生产也是个难题，所以该