摇了摇头，何雨柱连忙说道“倪院士，忙着呢。”

倪光南对他点了点头，又叹了口气：“唉，还是不行，浸没式这套理论没错，可这差在哪了。”

摇摇头，又瞅着这台光刻机沉思了起来。

这台光刻机就是他们自主研发的193纳米光刻机，名字叫t1。

而想要研发下一代，大家当时都没什么思路，因为国外现在也卡在这里十多年了，都毫无进展。

只有脚盆的佳能跟尼康通过拉短光源，