就这么小?” 看着只有十几米长的流水线,他们不相信了! “超级光刻机居然这么小?比正常的光刻机小一半?这比我们看得到资料小太多了吧?其他的也都变小了这么多?全部都改造了?” 芯片生产设备完整的流程太多了,光刻机,离子体刻蚀系统,反应离子刻蚀系统,离子注入机,单晶炉,晶圆划片机,晶片减薄机,气相外延炉,分子束外延系统,氧化炉,低压化学气相淀积系统,等离子体增强化学气相淀