二者中心强度极大值的位置越近，越难以分辨出这两个物点，在先进半导体集成电路制造中，获得高集成度器件分辨率很关键。”

“光刻分辨率对任何光学系统都是很重要的参数，并且对光刻很关键，因为需要在硅片上制造出极小的器件尺寸，硅片上形成图形的实际尺寸就是特征尺寸……”

“停！”

宁向天嘴角疯狂抽搐，“你、你这讲的什么东西？”